<cite id="bth5d"><span id="bth5d"><thead id="bth5d"></thead></span></cite><cite id="bth5d"><strike id="bth5d"></strike></cite>
<var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"></var>
<menuitem id="bth5d"></menuitem> <var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"><strike id="bth5d"></strike></var>
<thead id="bth5d"></thead>
<var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"></var>
<menuitem id="bth5d"></menuitem>
<var id="bth5d"><strike id="bth5d"><listing id="bth5d"></listing></strike></var>
<var id="bth5d"><video id="bth5d"><thead id="bth5d"></thead></video></var>
<var id="bth5d"></var>
歡迎來到南京聯俊流體技術有限公司網站!
咨詢熱線

13327836892

當前位置:首頁  >  技術文章  >  半導體實驗室氣路的設計要求和維護事項

半導體實驗室氣路的設計要求和維護事項

更新時間:2024-03-22  |  點擊率:140
  半導體實驗室的氣路系統是至關重要的基礎設施之一,主要用于為實驗室提供純凈、干燥、穩定的氣體供應,以滿足各種半導體制造工藝和實驗的需求。在半導體制造過程中,常用的氣體包括高純度的氬氣(Ar)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氫氣(H2)以及各種特殊氣體如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)等。
 

 

  半導體實驗室氣路設計要求::
  1.高純度:由于半導體器件的性能對雜質極為敏感,因此供應的氣體必須具有高的純度,通常要求99.999%(5N)以上,以避免雜質對芯片制造的影響。
  2.穩定性:氣體流量和壓力必須非常穩定,以保證工藝的重復性和可靠性。
  3.安全性:考慮到使用的氣體中有些是易燃易爆或有毒的,氣路系統需要符合嚴格的安全標準,并配備泄漏檢測、緊急切斷裝置和適當的排風系統。
  4.抗腐蝕性:由于某些氣體具有很強的腐蝕性,因此氣路系統的材料選擇要能夠抵抗腐蝕,通常使用不銹鋼材質。
  氣路系統組成:
  1.氣源:通常包括高壓氣瓶、液態氣體儲罐或中央供氣系統。
  2.閥門和regulator(減壓器):用于控制和調節氣體的壓力和流量。
  3.管線:采用無死腔、電拋光的不銹鋼管道,以最小化氣體受到污染的風險。
  4.過濾器:用以去除可能進入氣體中的微粒和殘留污染物。
  5.分析儀和傳感器:監測氣體的純度、流速、壓力等參數。
  6.控制系統:自動控制氣體輸送,保持流量和壓力的穩定。
  7.尾氣處理:對于有毒有害或具有環境影響的反應副產物進行適當處理。
  半導體實驗室氣路的操作和維護:
  1.定期檢查:定時檢查系統的各個部分是否正常工作,特別是檢查是否有泄漏現象。
  2.清潔保養:定期更換過濾器,清洗管道,確保供應的氣體保持高純度。
  3.安全培訓:操作人員需接受專業培訓,了解氣路系統的操作規程和應急措施。
  4.記錄維護:詳細記錄每次的檢查結果和維護工作,以便跟蹤設備狀況和預防潛在問題。
亚洲午夜国产精品无码,亚洲精品国产综合久久久久紧,天堂А√在线中文在线新版,丰满熟妇乱又伦
<cite id="bth5d"><span id="bth5d"><thead id="bth5d"></thead></span></cite><cite id="bth5d"><strike id="bth5d"></strike></cite>
<var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"></var>
<menuitem id="bth5d"></menuitem> <var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"><strike id="bth5d"></strike></var>
<thead id="bth5d"></thead>
<var id="bth5d"></var>
<var id="bth5d"></var>
<menuitem id="bth5d"></menuitem>
<var id="bth5d"><strike id="bth5d"><listing id="bth5d"></listing></strike></var>
<var id="bth5d"><video id="bth5d"><thead id="bth5d"></thead></video></var>
<var id="bth5d"></var>
<蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>